按照ISO 14644-5的建議，需要對參與清潔工作的所有人員，制定一個專門的培訓計劃，而且清潔計劃中的各個部門都要指派專人負責。一般是由專業(yè)化的清潔人員負責潔凈室的全面清潔工作，而工作臺面、操作部位等，則指派經(jīng)過適當培訓的潔凈室操作人員自行清潔各自所使用的范圍。
制定清潔計劃時，應該充分了解不同類型潔凈室表面的分類及其受污染的速率，所安排的清潔計劃及時間表應確保潔凈室保持所要求的潔凈度。應該了解潔凈室中的工藝和產(chǎn)品是在當日還是一周或其它時間間隔內完成的。這也影響到清潔計劃的制定。進行表面污染的測試和評估有助于清潔計劃時間表的制定。
1、清潔計劃的制定
ISO 14644-5“運行篇”對潔凈室清潔計劃的確定給出了如下建議：
（1）將潔凈室內的所有表面按關鍵、一般或其它表面進行分類。
（2）確定達到相應潔凈度級別要求的清潔和表面處理方法。
（3）確定每一種表面維持需要潔凈度水平所需清潔的頻率。
（4）確定在正常工作時間內可以完成哪種清潔作業(yè)。
（5）準備清潔工作日程安排表。
（6）確定安排表中哪些部分由潔凈室操作人員完成。
（7）按規(guī)定的方法選擇正確的材料、設備、清潔液和表面處理方法。
（8）按清潔計劃中的不同參與程度，對各種人員進行相應的培訓。
（9）為所需用的清潔材料提供適用的存放裝置。
（10）決定如何監(jiān)測清潔的效果，以及對偏差如何處理。
（11）匯總全部相關文件和安排表，以便對清潔工作進行有效的審核和管理。
2、清潔的頻率和監(jiān)測
大部分清潔工作都應按正規(guī)的時間安排定期、頻繁的進行，只有小部分清潔作業(yè)雖按正規(guī)的時間安排定期進行，但無需過于頻繁。有些清潔工作是針對污染產(chǎn)生的特殊情況來安排的，而不是按正常的時間表進行的?？傮w來說，清潔的頻率應符合潔凈室的需求，在實踐中要根據(jù)工藝的風險評定和清潔效果的評估進行必要的調整。清潔頻率可概括為以下幾種情況：
（1）每日清潔
一般區(qū)域按規(guī)定應每日清潔，即至少24h清潔一次。如氣閘室、更衣區(qū)至少每日清潔一次，這些場所人員活動高度頻繁，受到較嚴重的污染。因此，要求清潔的頻率高于潔凈室。這些地方要按規(guī)定方法進行真空吸塵和拖擦等清潔工序，以防止污染物遷移到潔凈室。
（2）定期清潔
不是每日清潔的表面應該定期清潔，例如每周一次或兩次。清潔時，產(chǎn)品可能需要覆蓋或從該區(qū)內移走。風險較小的表面可以安排較少的清潔次數(shù)，例如每個月或更長的時間間隔內清潔一次。例如潔凈室的某些墻面或頂棚，在清潔日程安排中也應列入計劃。還應在計劃中安排*清潔整個潔凈室設施的內容，其范圍應包括貯存區(qū)、服務區(qū)、管道和設備等的清掃工作，盡量安排在潔凈室較長時間停止生產(chǎn)的周末、假日或計劃內的生產(chǎn)設施停止期內進行。一般情況下，潔凈室都是連續(xù)運行的，能*清潔的次數(shù)一年中可能不多，更需要事先安排好，并做好人力與物質的準備，一旦生產(chǎn)設施停運，抓緊時間做好*清潔工作。
（3）緊急情況時的清潔
除了上述各種常規(guī)狀態(tài)的清潔計劃外，還應制定一套應急措施，并配備相應所需的工具、材料，以應對潔凈室在特殊意外情況下，突發(fā)大量污染時，不至于危及到正在進行的生產(chǎn)、工藝過程和潔凈室環(huán)境。在這種情況下，在可能有風險的區(qū)域內，生產(chǎn)應在暫停，直至清潔恢復到可接受的潔凈度水平。
可能需要特殊清潔的情況通常包括：
1）環(huán)境事故，如動力故障，主要設備故障、產(chǎn)品破損、生物危害物溢出等。
2）常規(guī)的清潔程序失效，導致潔凈室污染達到不可接受的水平。
3）監(jiān)控儀器顯示潔凈室設施發(fā)生了不可接受的污染。
（4）監(jiān)測及檢測清潔工作的有效性
潔凈室的設備、器具及其它表面，某些要求較高的潔凈室可能要求在清潔后進行潔凈室測試，由潔凈室用戶選擇合適的潔凈度檢測、驗證方法，由用戶確定能保證潔凈室的產(chǎn)品和工藝質量的可接受的潔凈度及其限制范圍。ISO 14644標準建議在可能時，應通過實際測量來確定限制。