1、管路系統(tǒng)的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。
2、高純氣體、特種氣體供應設施安裝前，應按工程設計文件和產(chǎn)品說明書或合約的要求，檢查設備（包括填充的純化材料等）、閥門和管件的完整性、密封性，并作檢查記錄。
3、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規(guī)定：
（1） 搬入潔凈室（區(qū)）前，應進行認真的清潔，符合要求后從規(guī)定的設備搬入口運入；
（2） 整體設備搬運時，應按設備的構造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，并可靠固定；
（3）設備就位時，應按工程設計文件和產(chǎn)品說明書要求，準確做好接管、接線定位；
（4）就位后，水、電接口應按工程設計文件要求連接；
（5）氣體管道接口，應在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運轉合格后才能連接。
4、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝，應符合下列要求：
（1）檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并作好記錄；
（2）安裝位置應按工程設計文件、產(chǎn)品說明書要求進行，并檢查接管、接線方位的正確性；
（3）氣體管道接口，應在所在系統(tǒng)試運轉合格后才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設施施工安裝試運轉的純度測試，應符合下列要求：
（1）純度測試介質(zhì)，宜采用工作氣體進行；
（2）測試氣體的壓力，宜與輸送介質(zhì)的設計壓力相同；
（3）測試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應設在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量zui嚴格且距離zui長的用氣設備處；
（4）純度測試過程，取樣時間的間隔宜為4h左右；氣體樣品應采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應的精度等級的儀器進行分析；
（5）當測試氣體的進、出口的純度及其雜質(zhì)含量（一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表）一致時，即認為純度測試合格。
6、管路系統(tǒng)的試驗應符合下列要求：
（1）高純氣體、特種氣體供應設施的強度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力，均應按工程設計文件要求；
（2）試驗氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣；試驗氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強度試驗壓力后，保持10min，然后降壓至氣密性試驗壓力，檢查接口、焊縫是否泄漏，以不漏為合格；
（3）氣密性試驗合格后，進行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時，系統(tǒng)以設計壓力保持24h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。采用氦氣為試驗氣體時，系統(tǒng)以設計壓力保持1h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。若不合格，檢查原因并進行完善后，再進行泄漏量試驗，直至合格為止；
（4）管路系統(tǒng)的試驗，一般均不包含純化設備、特氣柜和閥門箱等。
7、管路吹掃應符合下列要求：
（1）應按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進行吹掃；
（2）管路系統(tǒng)應采用0.3.0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進行吹掃，吹掃氣體應設置過濾精度嚴于0.31tm氣體過濾器去除微粒；對輸送可燃氣體的管路宜采用純氮吹掃；
（3）在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設靶檢查，以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃氣體的管路系統(tǒng)，應以排出口吹掃氣體中含氧量小于1％為合格。